พิจารณาขันธ์ 5 เป็นไตรลักษณ์สรุปกายานุปัสสนากายานุปัสสนา แบ่งเป็น 6 ขั้น
กายานุปัสสนา : อานาปานบรรพ – การกำหนดลมหายใจเข้า-ออกกายานุปัสสนา : อิริยาบถบรรพ – กำหนดรู้การเคลื่อนไหวของร่างกาย (ยืน เดิน นั่ง นอน)กายานุปัสสนา : สัมปชัญญะบรรพ – กำหนดรู้การคู้ ในการเหลียวหน้า เหลียวหลัง จะรู้อาการ กิน นอน เดิน นั่ง จะทำอะไรก็รู้อยู่ (รู้ตัว)
กายานุปัสสนา : ปฎิกูลมนสิการบรรพ – พิจารณาอาการ 32 ของร่างกายว่าเป็นของสกปรกกายานุปัสสนา : ธาตุมนสิการบรรพ – ธาตุ 4 (ดิน น้ำ ลม ไฟ) พิจารณาร่างกายประกอบด้วย ธาตุ 4 (ดิน น้ำ ลม ไฟ) เต็มไปด้วยความสกปรก
กายานุปัสสนา : นวสีวถิกาบรรพ – เรียกว่าป่าช้าเก้า โดยการพิจารณาซากศพในสภาพต่างๆ ตั้งแต่เริ่มตาย แล้วมีการเปลี่ยนแปลงของซากศพ เมื่อ วันเวลาผ่านไป จนซากศพเน่าเปื่อยย่อยสลายกลับคืนสู่ ธรรมชาติคือ ธาตุเดิม (ดิน น้ำ ลม ไฟ)